Описание
Специализация:
Высокопроизводительная прецизионная микрообработка изделий из различных материалов, применяемых для создания и прототипирования электронной техники.
Выполняемые технологические операции:
- деметаллизация, формирование топологий,
- контурная вырезка,
- скрайбирование,
- прошивка отверстий диаметром от 30 мкм,
- создание 3D структур с переменным профилем и меза-структур в п/п,
- формовка и контурная вырезка тонколистового припоя.
Промышленная стойка с
рамной конструкцией
со столом 100х100 мм
Промышленная стойка с рамной конструкцией со столом 100х100 мм
Гранитная станина,
стол 250х250 мм
Обрабатываемые материалы:
- Керамические материалы: поликор, ситалл, низкотемпературная LTCC керамика, в том числе "гибкая",
ХС22, ВК96 и др.
- Полупроводниковые материалы: кремний, арсенид галлия и др.
- Нитрид алюминия (AlN).
- Композитные материалы.
- Твердые материалы: кубический нитрид бора, карбид кремния и др.
- Ферриты, металлы и сплавы.
- Лейкосапфир, синтетический рубин.
Технические характеристики:
Сканирующая система: |
Тип |
2-х осевая программно-управляемая система с поворотными зеркалами |
Поле обработки |
60 х 60 мм (опционально 100х100 мм) |
Скорость перемещения луча |
регулируемая до 5,2 м/с |
Энергетический размер луча в зоне обработки |
не более 25 мкм (по уровню 1/е2 ) |
|
Механическая система перемещения и позиционирования: |
Общее количество осей |
4 |
Диапазон перемещения изделия по осям X,Y |
102х102 мм |
Скорость перемещения изделия по осям X,Y |
регулируемая до 10мм/с |
Ход перемещения по оси Z |
13 мм |
Диапазон вращения поворотной площадки |
режим "грубо" - 360° режим "точно" - 10° |
Тип оснастки для фиксирования изделия |
предметный столик |
|
Система привязки и наблюдения: |
Тип |
2-х камерная видеосистема с выводом изображения на монитор ПК |
Увеличение |
режим "микро" и "макро" |
Привязка к объекту |
по подвижным и неподвижным реперам |
|
Лазер: |
Тип лазера |
иттербиевый импульсный волоконный лазер IPG-Photonics производства "НТО "ИРЭ-Полюс" Россия |
Длина волны лазерного излучения |
1,05 -1,07 мкм |
Ресурс лазера |
более 100 000 часов |
Средняя мощность лазера |
20 Вт |
Максимальная энергия в импульсе |
1 мДж |
Частота импульсов |
регулируемая до 100 кГц |
|
Общие характеристики: |
Электропитание |
~220 В, 50 Гц, до 800 Вт |
Габаритные размеры (Ш,В,Г) |
780 х 850 х 760 мм |
Вес |
110 кг |
|